ULVAC 油回転真空ポンプ G101D

■用途●理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。●真空排気装置、電子顕微鏡のバック。●半導体製造装置。●真空蒸着装置、凍結乾燥器。●医療用機器全般。■特長●ゲーデ型真空ポンプで、真空ポンプ油により回転部の潤滑と真空封止をしていますので、高真空が安定して得られます。●モーター直結型であることからベルト方式に比べ、高速回転により小型で大きな排気速度が得られます。■仕様●排気速度(L/min)50/60Hz:100/120●到達圧力(Pa):0.67●吸気口径(mm):27●電源(V):単相100●寸法(mm):234×500.5×264●騒音値(dB):-●サーマルプロテクタ付●使用油:SMR−100●異電圧対応可(お問い合せください)■注意事項●油の汚れ、減少を定期的にチェックしてください。●停止時には真空側に油の逆流が発生します。必ずポンプ内を大気圧に戻してください。●大気圧近くでの連続運転には不適当です。